X 射线光电子能谱检测

项目

细则

收费

说明

手套箱进样

空气敏感样品测试

400元/样

/

XPS谱图测试

宽谱和窄谱的扫描

宽谱：280 元/样； 窄谱：140 元/样

每超过30min 按 新样算

XPS成像测试

选区和成像扫描 测试时间≤1h

840元/样

每超过1h 按 1 个新样算

深度剖析

Ar 离子刻蚀加元素窄 扫或成像

每层按 2 个样算 +150 元/次刻蚀费

刻蚀时间 5min/次

主要规格及技术指标

1、本底真空度优于5*10-10mbar；

2、单色化AlKαX射线源，光斑尺寸200-900um，大光斑极限分辨率0.43eV；

3、XPS能谱分析尺寸20-900um，平行成像精度1um；

4、双极性半球形分析器，可采集ISS离子散射谱，能量分辨率优于12eV；

5、配备同轴/离轴双电子枪，可用于磁性和非磁性绝缘样品的荷电中和测量，能量分辨率0.68eV；

6、配有Ar离子刻蚀和团簇离子刻蚀，可用于不同敏感性材料的深度剖析；

7、配有反射电子能量损失谱（REELS）,可用于氢元素的定量分析；

8、配有俄歇光电子能谱分析（AES），空间分辨率可达95nm，并能够实现相应的形貌表征功能（SEM）。

 主要功能及特色

1. 该系统通过测量不同元素的芯能级，能够实现高精度的元素和价态分析。
2. 该系统使用X-射线作为光源，能够采集较大束缚能范围的光电子能谱数据，实现对材料电子结构的完整表征。
3. 该系统具备微区分析功能，可以针对微米级别的特定区域开展元素组分与电子结构分析，是目前观测薄膜样品元素和价态分布，进而探索其生长机理的工具之一

主要附件配置

1、单色化AlKαX射线源，光子能量1486.6eV;

2、双极性半球形分析器，可采集ISS离子散射谱，用于超薄表面的元素鉴定和同位素鉴定；
3、配备同轴/离轴双电子枪，可用于磁性和非磁性绝缘样品的荷电中和测量；
4、配有Ar离子刻蚀和团簇离子刻蚀，可用于不同敏感性材料的深度剖析；
5、配有反射电子能量损失谱（REELS）,可用于H元素的分析；
6、配有俄歇光电子能谱分析（AES），空间分辨率可达95nm，并能够实现相应的形貌表征功能（SEM）；

7、配有角分辨ARXPS,用于10nm以内各深度的无损XPS分析。